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SVGL Micrascan MPT #9246179

SVGL

Micrascan MPT

Scanner, 8" DUV, 193 nm Catadioptric lens (Reflective and refractive optical elements).
133
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SVGL Micrascan MPT #9382960

SVGL

Micrascan MPT

Scanner 193 nm 2000 vintage.
111