中古 ASYST LPI 2200 #9094285 を販売中

ASYST LPI 2200は、商業および研究レベルの半導体デバイス製造に使用するために設計されたウェハハンドラです。LPI 2200は、6、8、12インチ（150-、200-、 300mm）の標準フォーマットで一度に最大30ウェーハを処理できるダブルエンドカセットローダーを備えています。ローダーは独立したカセットクラッチとウェーハタイムアウトインターロックを備えており、損傷なく簡単かつ安全にウェーハを輸送できます。ASYST LPI 2200ハンドラは、ウェーハスリップを防ぐ独自の機構で、調整可能で位置安定性を提供するクローズドループウェーハクランプ装置も提供しています。このクランプシステムは、標準的なエッジまたはノッチセンターハンドリングに適しており、ウェーハ上のエッジ接触を最小限に抑える特許取得済みのクランプアーム構成を備えています。さらに、LPI 2200は、HEPAフィルタを備えた温度制御環境を備えており、汚染を防ぎます。ASYST LPI 2200の他の機能には、最大500mm/秒の速度でウェーハを移動できる高速ウェーハ搬送ユニットと、静電気に敏感なデバイス用の真空ピックアップがあります。LPI 2200には、ウェーハの適切な取り扱いと位置決め精度を確保するための独立したサーマルおよびクランプの高さ制御システムも装備されています。さらに、超低振動設計は、振動と乱れのないハンドリングを確保するのに役立ちます。安全面では、ASYST LPI 2200は安全インターロックマシンとフェイルセーフソフトウェアで構成されており、ミッシャンドリングを防止し、安全なプロセス制御を保証します。さらに、LPI 2200は標準的な自動プロセスツールに適合するように設計されており、プラグアンドプレイ操作が可能です。さらに、ASYST LPI 2200は高効率で、高度な統計処理制御（SPC）機能を備えており、ハイエンドのウェーハ処理を最適化します。全体として、LPI 2200は、商用および研究レベルの半導体メーカーの両方のニーズを満たすように設計された、強力で信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションです。ASYST LPI 2200は、統合されたダブルエンドカセットローダー、クローズドループウェハークランプツール、独立した熱およびクランプの高さ制御、および高速ウェハートランスポートアセットなどの機能を備え、安全で高速で正確なウェハハンドリングを提供します。さらに、高度なSPC機能と安全インターロックモデルにより、ユーザーは目的のプロセス最適化のために複数のパラメータを設定および制御できます。