中古 ASYST LPI 2200 #9277986 を販売中

ASYST LPI 2200は、最先端のロボットウェーハハンドラです。それは速く、信頼できる、精密なウェーハの処理のために設計されています。LPI 2200は、湿式および乾式の両方の処理システムで複数のアプリケーションを処理するように設計されています。ウェーハの自動取り扱い、カセット/ボートの自動積み下ろし、ロードロックステーション、ドライブおよび搬送機能などがあります。ASYST LPI 2200のベースは、ロボットアーム、電源、および独自の駆動および搬送アセンブリを収容する堅牢な機械フレームで構成されています。この機能は、ロボットが作業シーケンスを実行する際に、機器が高い再現性と精度を維持するのに役立ちます。ユニットのロボットアームには、正確なウェーハ処理を可能にするフォースセンシティブエンドエフェクター（FSEE）が装備されています。腕には4つの自由度が装備されているため、必要に応じて到達、回転、傾き、傾斜することができます。LPI 2200は、フレキシブルコンベアシステムを使用して、ロードロックステーションと顧客が提供するカセットまたはボートの間でウェーハを素早く転送します。搬送ユニットは、ロボットがウェーハをステーションからステーションに正確に移動できるようにも役立ちます。マシンの全体的な駆動ツールには、高度なサーボモータとエンコーダアセットが装備されており、再現性と正確なソート精度を保証します。ASYST LPI 2200のロードロックステーションは、カセットまたはボートからロボットアームにウェーハを迅速かつ安全に移動するように設計されています。このステーションにはスマートウエハ識別モデルが搭載されており、ロボットはローディングとアンロードの前に簡単にウエハを識別することができます。ロードロックステーションは、最大2つのカセットまたは2つのボートを一度に処理することもできますが、圧力制御装置は、ローディング/アンロード中にウェーハサイトへの損傷を防ぐのに役立ちます。要するに、LPI 2200は信頼性が高く、正確で柔軟性の高いウェハハンドラであり、さまざまなプロセスで使用できます。このユニットは、堅牢な機械フレーム、洗練されたロボットアーム、搬送システム、および迅速かつ効率的なウェーハ処理を可能にするロードロックステーションで設計されています。高度なサーボモータとエンコーダユニットにより、ウェーハの位置決め精度をさらに向上させます。ASYST LPI 2200は、あらゆるウェーハ処理ニーズに対応する信頼性と効率性の高いソリューションです。