中古 SPEEDFAM / PETER WOLTERS DC52 #9308055 を販売中

SPEEDFAM/PETER WOLTERS DC52は、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、高精度で精度の高い半導体ウェーハなどの材料に幅広く対応しています。このユニットは、汎用性、堅牢性、幅広い用途により、半導体業界での使用に最適です。SPEEDFAM DC52は、高速で柔軟なスピンドル設計により、精密なラッピングのために低速、反転スピンドルで研磨します。機械は真空チャック、調節可能な紡錘、モーター紡錘、サーボモーター、モーションコントローラ、ステップモーターおよび光学測定システムを含んでいます。各操作のパラメータは、異なるウエハサイズ、形状、材料を満たすように調整することができます。PETER WOLTERS DC52には、完全に密閉された研削/ラッピングモジュールが含まれており、研削およびラッピングプロセスにおいて高精度で再現性を提供するように設計されています。研削/ラッピングプロセスは、研削とラッピングの両方の操作の組み合わせであり、表面の不規則性を低減し、ウェーハ表面の傷を排除します。ラッピングプロセスは、調整可能な速度と共に調整可能な圧力を備えています。表面平坦化、表面テクスチャライジング、表面仕上げ、ウェーハ切断などの用途に最適です。DC52の研磨モジュールは、均一な表面を持つウエハの超滑らかな研磨などの用途に設計されています。研磨プロセスには、高性能の研磨ソリューション、調整可能な速度、柔軟なスピンドルなどの機能が含まれます。表面平面化、表面バリ取り、微細仕上げなどの用途に最適です。SPEEDFAM/PETER WOLTERS DC52は、作業ごとにウェーハを測定するための自動計測ツールをさらに備えています。計測資産には、高解像度の光学顕微鏡、ビデオモニター、CCDカメラが搭載されており、正確な測定が可能です。また、運転効率と精度を向上させるための振動絶縁テーブルも付属しています。SPEEDFAM DC52は、信頼性と効率的な性能を提供する先進モデルであり、半導体業界のアプリケーションに最適です。高精度・高精度な幅広い用途に対応できるよう設計されています。堅牢で汎用性の高い機器で、さまざまな操作をカスタマイズできます。