中古品 SPEEDFAM / PETER WOLTERS (ウェーハ研削・ラッピング・ポリッシング) を販売中

SpeedFam/Peter Woltersは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置の著名なメーカーです。半導体製造に使用されるシリコンウエハをはじめ、幅広い材料・用途に対応する高精度加工を実現するシステムです。その有名なユニットの1つは、ウェーハ研削システムである32 BGWです。これは、優れた安定性と精度のための静水圧研削スピンドルなどの高度な機能を提供しています。32BGWは、直径300mmまでの大型ウエハ加工が可能で、効率的な生産が可能です。ラッピングのために、32 SPAWシステムは人気のある選択肢です。これは、研磨スラリーで満たされた流体充填キャビティを使用して正確なラッピング制御を提供します。このシステムは、ウェーハなどの表面粗さ要件を達成するために非常に効率的です。研磨の面では、32 BTAWシステムが際立っています。これは、生産性と一貫性を高めるために、デュアルサイドの惑星設計を利用しています。これにより、ウェーハ両面の同時研磨が可能となり、スループットが向上し、表面品質が向上します。これらのSpeedFam/Peter Woltersマシンは、優れた精度、プロセスの安定性、高い生産性など、いくつかの利点を提供します。これらは、半導体産業の厳しい要件を満たすように設計されています。その他のツールの例としては、32 DSNとAC-465があります。