中古 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 SPAW #9074540 を販売中

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 SPAWは、半導体ウェーハの超精密加工を実現するウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、超薄型ウェーハをマイクロエレクトロニクス生産に適した品質レベルに加工するために特別に設計されています。このユニットは、ビジョンシステム、統合開発ソフトウェア、自動測定システムなどの機能を備えた高度なオートメーションを備えています。最大6ミクロンの公差と非常にタイトなフラットネス仕様を実現できます。この機械は、導電性シリコンから陽極酸化アルミニウムまで、さまざまな材料を処理することができます。工具はプロセスチャンバー、研磨テーブル、スピンドル、コントロールパネルで構成されています。プロセス部屋は軸受けに取付けられ、外的なモーターによって運転されるマグネシウム合金の版から成っている磨くテーブルを収容する密封された金属のエンクロージャです。これは滑らかで、一貫した粉砕、ラッピング、および磨く動きを保障するように設計されています。スピンドルは、ウェーハを磨くために必要な力を提供する高精度、高速スピンドルです。それは低い振動操作および非常に高い紡錘の生命を提供する独特な二重軸受け設計の堅くされた鋼鉄からなされます。コントロールパネルは、資産のすべての設定が調整されている場所であり、オペレータが速度、圧力、時間を制御することができます。コントロールパネルには、プロセスを監視し、結果を分析し、さまざまなウエハータイプのプログラム設定を最適化するために使用される統合開発ソフトウェアもあります。半導体ウェーハの精密加工用に設計されており、比類のないレベルの精度と再現性を提供します。半導体業界で最も厳しい要件を満たすように設計されており、最大6ミクロンの許容誤差とわずか0。5ミクロンのフラットネス仕様のウェーハ処理が可能です。自動化とプロセス制御機能により、ハイエンドのマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。