中古 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BTAW #9286177 を販売中

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BTAWは、薄型ウェーハおよび基板の製造用に設計された多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまな周辺機器用の研磨/ピッチ研磨ユニット、ラッピング（研磨紙を使用して滑らかな表面仕上げが達成されるまで材料を切断するプロセス）、および高品質の表面仕上げのダイヤモンドラッピング（ラッピングと研磨方法の組み合わせ）、および研磨（研磨ウエハ上の鏡面のような仕上げを実現するため）で構成されています。また、均一な加工のための統合基板ホルダーを備えています。このユニットは、粗研磨から最も正確な鏡面仕上げまで、幅広い研磨、ラッピング、研磨戦略を提供します。ウェーハ研削とラッピング処理は、ウェーハから材料の薄い層を除去することを含みます。ピッチプレートを使用して、ウェーハに機械的な振動運動を伝達し、研磨材を使用して材料を除去し、目的の表面プロファイルを作成します。ラッピングと研磨ステージは、材料とダイヤモンド研磨研磨材で構成されたスラリーで行われます。ラッピングプロセスは、徐々に微細さを増しながら繰り返さなければならない一連のステップに従います。最後のステップは磨かれた表面をミラーのような終わりに滑らかにする磨くステップです。SPEEDFAM 32 BTAWマシンは、高精度で再現性のある薄型ウェーハを製造できるように設計されています。ウェーハの寸法を検出する統合レーザーツールを使用することで、正確なサイズ制御を実現できます。これにより、手動プロセスの時間と無駄を削減し、コストを削減します。このモデルは、オーナーシップの低コストでウェーハをラッピングするための汎用性と信頼性の高いツールです。精密な再現性、精度、信頼性を提供しながら、一貫した品質の結果を生成します。シリコン、金属など幅広い素材に適しています。