中古 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #9194316 を販売中

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGWは、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェットグラインダーの高いスループット性能とラッピングマシンの精度を兼ね備え、高い精度と再現性を備えたウェーハの滑らかで均一な表面を実現します。このシステムは、特殊なダイヤモンドとグラファイトボンドを備えたダイヤモンド研削ホイールを使用して、切削効率と長い工具寿命を向上させる2ステーション研削ステージを採用しています。ホイールは高速で回転し、ウェーハの表面を細かく研磨します。最初の研削ステップの後、2番目のステーションを使用して微細な研磨ペーストを塗布し、研磨プロセスを完了します。このユニットには高度なプロセスモニタリングユニットも含まれており、部品の速度と研磨プロセスのパラメータに関するフィードバックを提供し、機械全体の精度と再現性を確保するのに役立ちます。さらに、このツールは各ラッピングヘッドを個別に制御することができ、部品の最終寸法と形状を正確に制御することができます。最終的な表面の均一性を確保するために、SPEEDFAM 32 BGWにはウェーハ洗浄アセットも装備されています。このモデルは、ウェーハ研磨および研磨工程で拾った汚染物質を除去するために使用されます。部品位置決めメカニズムやエンドエフェクターなどの統合されたオートメーションコンポーネントは、高速で正確なサイクルタイムを提供するように設計されています。直感的な制御により、オペレータは簡単に使用できます。PETER WOLTERS 32 BGWは、最大2000rpmの研磨と研磨速度で、最大4つの生産レベルのラッピングヘッドをサポートできます。全体的に32個のBGWウェーハ研削、ラッピング、研磨システムは、高い精度と再現性を備えた、滑らかで均一なウェーハ表面を生成するように設計された強力で信頼性の高いユニットです。ユーザーフレンドリーな制御、使いやすいオートメーションソリューション、プロセス監視機能により、幅広い半導体製造アプリケーションに最適です。