中古 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #9194310 を販売中

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGWは、世界有数の高性能研削および研磨ソリューションを提供する2つのプロバイダーによって作成された高精度の「ウェーハ研削、ラッピング&研磨」装置です。半導体、IC、その他の繊細な部品の幅広い仕上げや研磨に使用され、ワークの最大サイズは500mmです。薄型ウエハを最大5面まで同時に処理できるように設計された専用システムです。調整可能なスイングアームツーリングとクイックチェンジウェーハホルダーによる自動ローディング/アンロードを備えています。このユニットは柔軟なワークエンベロープで設計されており、プロセスチャンバーを迅速に再構成し、手動ステップを自動化されたものに置き換えることができます。これにより、異なるツーリング構成を使用する際の機械の柔軟性が大幅に向上し、コンポーネントのロード/アンロードなどのプロセスが自動化されます。また、このツールには堅牢な安全資産が付属しており、脆弱なウェハを処理する際のオペレータの安全性を保護します。SPEEDFAM 32 BGWは、最大25,000rpmの高精度なS45-16スピンドルを備えており、ウェーハの正確な位置決めのための動的バランスの取れたロータリーテーブルを備えています。高精度ツールホルダは、チャッターを低減し、振動を排除し、加工作業を安全かつ一貫した状態に保つように設計されています。また、高周波ラッピングヘッドを使用して必要な研磨結果を達成し、モデルには、ほとんどのウエハサイズの手動および空気圧保持ツールも含まれています。この機器はオプションのコンピュータ数値制御（CNC）インターフェースを備えており、フィードバックとキャリブレーション手順を制御できます。PETER WOLTERS 32 BGWシステムは、ウェーハ、長方形、複雑な形状など、さまざまな部品を研削、ラッピング、研磨することができます。それは材料の除去率の詳細なプロセス制御そして監視を提供する直感的なユーザーインターフェイスが装備されています。また、スピンドル振動モニタリングマシンを内蔵し、振動源を監視および分離します。これにより、ワークエンベロープ全体で一貫した生産率を維持できます。32 BGWの堅牢な設計により、幅広いウエハや部品の精密な研削、ラッピング、研磨が可能です。高精度のスピンドルとツールホルダーは一貫して正確な結果を提供しますが、高度な安全システムと動的操作は安全で信頼性の高い作業環境を提供します。