中古 SPEEDFAM / PETER WOLTERS 32 BGW #293800527 を販売中

SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGWは、高度なウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。平らな平行および/またはローカルに指定された表面の生産のための二重側面、マルチヘッドのラッピング/磨く機械です。このシステムは、超平坦（2umレベル）および高精度（1um以上）の半導体ウェーハの製造に優れた表面仕上げを提供するように設計されています。このユニットは、優れた機械的および技術的特徴の組み合わせを利用した設計設計を特徴としています。汎用性の高いラッピングおよびポリッシングヘッドは、より大きなウェーハ径のさまざまな用途と仕様に適合するように設計されています。これには、ウェハラッピングおよび研磨操作、面取り、厚い研磨および後処理、ならびに平面化および粗い研磨が含まれます。SPEEDFAM 32 BGWマシンはまた、高度なデジタル制御とプログラミング機能を採用しています。マシンサイクルタイム、サイクルあたりのステップ数、速度調整、水平/垂直ラッピングなどのプログラム可能な出力とパラメータは、すべてユーザーフレンドリーなインターフェイスで設定できます。PETER WOLTERS 32 BGWには独自のスライドセットアップメカニズムが装備されており、ラッピングと研磨プレートの迅速かつ正確な調整が可能です。このツールには、レシピ管理資産も含まれており、レシピを保存および管理し、プロセスパラメータを最適化するのに役立ちます。このモデルはまた、プロセス結果を印刷し、統計的プロセス制御を維持することができます。32 BGWには、ウェーハをスライド上に正確に配置するために使用されるウェーハ処理装置も含まれています。ウエハサイズは450mmまで対応可能で、ウエハー径は2mm〜10mmまでとなっています。詳細なピッチ制御のために、完全にプログラム可能なロータリーフィーダも付属しています。全体として、SPEEDFAM/PETER WOLTERS 32 BGWシステムは、半導体業界の厳しい要件を満たすように設計された最適化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨ソリューションです。高度な機能、デジタルコントロール、レシピ管理ユニットにより、再現可能なプロセス結果を備えた優れた表面を提供できます。