中古 NOVELLUS / IPEC 776 #293741214 を販売中
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NOVELLUS/IPEC 776は、生産量と精度の高いアプリケーションの両方のために設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。50年以上にわたり半導体装置のリーディングカンパニーであるIPEC Systemsによって開発されました。IPEC 776は、ウェーハをさまざまな角度に研削し、要求された平坦性を達成するためにウェーハをラップし、要求された仕様にウェーハを研磨するなど、幅広い用途に適しています。NOVELLUS 776には多数の機能が搭載されているため、ボリュームと精度の高い要件に最適です。機械は、研削、ラッピング、研磨に適した最大25のプロセスレシピを保存してリコールするように設計されています。また、緊急停止、Eストップ安全機構、ドア安全インターロックなど、さまざまな安全機能を備えた堅牢な設計が施されています。776はまた、50スロットツール選択システムを備えており、オペレータは必要に応じてウェハのアクティブ研磨剤をすばやく変更することができます。また、ウェーハクランプを最適化するためにさまざまな外付けチャックを使用し、ウェーハの自動洗浄機能も備えています。NOVELLUS/IPEC 776には、さまざまな高度なプロセス監視および制御システムも含まれています。これには包括的なデータ収集システムが含まれており、オペレータは将来の分析のためにデータを保存することができます。また、インテリジェントなプロセス制御（IPC）システムを備えており、プロセスを監視および調整して、最も正確で再現性の高い結果を保証します。また、IRC （インテリジェントRPM制御）およびGPC（粉砕プロセス制御）システムも含まれており、ウェーハの連続パス間の整合性を維持します。IPEC 776は非常に汎用性の高い機械であり、オペレータはさまざまなサイズのウェーハと様々な組成とコーティングを処理することができます。これにより、柔軟な生産が可能になり、高いレベルのスループットと精度を実現できます。最後に、NOVELLUS 776は、自動計測システムなどのさまざまな機器と統合して、完全な無人研削、ラッピング、研磨ソリューションを作成できます。全体的に776は、大量かつ精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に最適です。
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