中古品 NOVELLUS / IPEC (ウェーハ研削・ラッピング・ポリッシング) を販売中
Novellus/IPECは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置の有名なメーカーです。これらのシステムは、シリコンウェーハの精密かつ効率的な処理のために半導体業界で不可欠です。AvantGaard 776のようなNovellus/IPECによるウェーハ研削ユニットは、ウェーハの表面から余分な材料を除去するように設計されています。このプロセスにより、ウェハの平坦性、厚さ、および全体的な表面品質が向上します。高速回転研削砥石を採用することで、正確で均一な材料除去を実現し、最適なウエハ性能を実現します。AvantGaard 776を含むNovellus/IPECのラッピングツールは、ウェーハの優れた表面仕上げを実現するために使用されます。ラッピングには、緩い研磨スラリーと回転ラッピングプレートを使用して材料を除去し、滑らかで均一な表面を作成します。このプロセスは、精密な厚さと平坦度の制御を実現するために特に有用です。Novellus/IPECが提供するアセット(AvantGaard 776など)の研磨は、化学機械研磨(CMP)技術を利用しています。CMPは、研磨スラリーの化学作用と回転研磨パッドの機械作用を組み合わせて材料を除去します。このプロセスにより、優れた平面性、表面仕上げ、欠陥の低減が保証されます。Novellus/IPECウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルにはいくつかの利点があります。高度な自動化機能により、サイクル時間を短縮し、スループットを向上させ、高い生産性を提供します。さらに、これらの装置は優れたプロセス制御を提供し、歩留まりの向上とコストの削減をもたらします。Novellus/IPECウェーハ処理システムの他の顕著な例としては、AvantGaard 776および300MM 776ユニットがあり、高度な技術と優れた性能と信頼性のための革新的な設計を備えています。これらの機械は、最新の半導体製造の厳しい要件を満たすために必要なツールを半導体メーカーに提供します。
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