中古 HITACHI 324 #9215070 を販売中

HITACHI 324ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、製造メーカーが高精度で均一な表面を作成することを可能にする、費用対効果の高い自動化プロセスです。このシステムは、プロセス開発、研磨、鏡面塗布に最適です。集積回路研磨、精密光学部品、コンタクトレンズ製造などの用途に適しています。324は、独自の4ステーション加工チャンバーを使用して、研削、ラッピング、研磨プロセスを同時に可能にします。これは、精密な動きのためのシングルレールモーションキャリッジと惑星運動を使用し、一度に最大3つのウエハを収容することができます。ユニットは、潜在的な汚染や損傷を防ぐために防塵および湿度制御されています。HITACHI 324のワーキングプラットフォームには、2つのポジションセンサーと2つのフォースセンサー、およびズームレンズとステージプレートを備えた検査顕微鏡が装備されており、試料表面のアポサイト拡大が可能です。さらに、8インチのタッチパネルを備えた独立したコントローラを備えています。このモデルは、パラメータを設定し、マシンを監視するだけでなく、レシピの迅速かつ簡単なプログラミングに適しています。324はまた、様々な材料を制御することができ、その線形周波数制御で処理時間を向上させます。また、グラフィカルディスプレイソフトウェアを搭載したPCベースのコントロールユニットを備えています。このソフトウェアは、すべての設定をリアルタイムで制御し、圧力、速度、温度、圧力分布などの多くのパラメータを表示できます。HITACHI 324には、温度センサ、空気圧コントローラの二重冗長性、および予期しない工具の故障を防ぐための研削、ラッピング、研磨ヘッドの安全機構など、複数の安全機能が搭載されています。機械はまた証明されるセリウムです。最後に、324ウェーハ研削、ラッピング、研磨アセットは、高精度と均一性を提供する自動プロセスであり、メーカーはサンプル表面の様々な機能を作成することができます。このモデルは信頼性が高く、効率的で安全であるため、集積回路研磨やコンタクトレンズ製造などの用途に最適です。