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ULVAC CE-300I #9206958

ULVAC

CE-300I

ICP Etcher, 3" Load-lock type: ISM Load-lock chamber Sample size: 75 mm Process reliability / Accur
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ULVAC CE-300I #9055173

ULVAC

CE-300I

Etcher, 6" Load lock type Power supply: Antenna, 1kW, 13.56MHz Pumping system: TMP-DRP-APC ESC hold
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