中古 ULVAC CE-300I #9055173 を販売中

ULVAC CE-300Iは、様々な産業向けの真空科学技術のリーディングプロバイダーであるULVACによって設計および製造されたアッシャーとしても知られるエッチャーです。その洗練されたデザインは、先端技術と特にコンパクトな形状を提供し、工業生産と学術生産の両方に適しています。CE-300Iは物理的および化学的プロセスを利用して、電子技術などの薄膜部品や、精度と精度の高い基材に取り組んでいます。さまざまな非熱プロセスを利用して、精密なパターンを作成し、不均一な表面をエッチングし、幅広い物質で材料を塗布します。ULVAC CE-300Iの作業面積は約300mm×300mmで、最大高さは110mmです。イオンソースと基板ソースの2つの独立した電源を備えています。イオン源は可変ビーム電流と電圧、およそ120mm×150mmの作業領域を提供します。イオン源により、選択した材料を基材にスパッタすることができます。制御ソースは、広範囲の容量制御とさまざまなプログラムレベル制御機能を提供します。また、自動ドアロック機構や過熱モニターなど、いくつかの安全機能も備えています。ドアロック機構は、内蔵の安全アラームと組み合わせて、ユーザーと環境に最大限の安全性を確保します。さらに、圧力低減システムは、汚染を防ぎながら最適な作業環境を維持するのに役立ちます。CE-300Iの部屋は容易なクリーニングおよび維持のための2つのコンパートメントに分けられます。メインチャンバーには、効率的な熱伝達のために2つの高純度アルミニウムパイプと1。5メートルの加熱ジルコニウム断熱材が装備されています。さらに、アッシャーは二重周波数RFジェネレータを使用して、基材の安定した動作と均一なエッチングを保証します。ULVAC CE-300Iは、三相AC入力、5-243VAC範囲、および50/60 Hz周波数を含むさまざまな電源で動作します。さらに、CE-300Iは、制御と接続を容易にするために、さまざまな有用な入力、出力、およびポートを備えています。操作が簡単にできるように設計されており、直感的で使いやすいインターフェイスを提供しています。結論として、ULVAC CE-300Iは産業用と学術用の両方の生産用に設計された先進的なエッチャーです。コンパクトな形状、洗練されたデザイン、効率的な操作により、基材の精密作業やコーティングに最適です。