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STS Multiplex ICP HR #293622448

STS

Multiplex ICP HR

Deep Reactive Ion Etcher (DRIE) Chamber (2) Electronic racks (6) PCB: V.A.C.3.Y A.M.C.1A H.B.C.2 H.
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STS Multiplex ICP HR #9272076

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Multiplex ICP HR

Dry etchers, 6"-8" SI Advanced Silicon Etch (ASE) With BOSCH Process MAC Loader Carousel vacuum load
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STS Multiplex ICP HR #293609291

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Deep Reactive Ion Etcher (DRIE).
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