中古 STS Multiplex ICP HR #9272076 を販売中

STS Multiplex ICP HRは、ユーザーが複数の基板またはウェーハを一度に処理できる特殊なエッチングおよびアッシングツールです。様々な種類の基板やウェーハの加工において、使いやすく均一性に優れています。このデバイスはステンレス鋼で作られており、2ミクロンのエッチング精度が印象的です。そのコンピュータ制御システムは、組み込みのレシピを介して簡単に制御できる効率的で正確なエッチングプロセスを提供します。さらに、このシステムはレシピ設定の広い数値範囲を提供しており、異なる種類の材料を処理する場合には非常に柔軟性があります。このデバイスのハードウェアは、エッチング結果を改善し、エッチャーの柔軟性を高める不活性な石英チャンバーを内蔵しています。これは、そのEtchSlice™技術と相まって、Bake-n- Quench™または金属有機前駆体を使用するなど、さまざまなレシピで実行するために最適化された正確で繰り返し可能なエッチング処理を可能にします。ICP HRはダイナミックスイープ制御機能も備えており、エッチレートを高速に最適化できます。このデバイスはまた、シリコーンのエッチング速度のばらつきに対して高い耐性を提供し、その精度と精度を向上させます。最後に、ICP HRの統合された環境保護層（EPL）は、有害物質が含まれていることを保証し、デバイスが環境に優しいようにします。この使いやすいデバイスは、エッチングとクリーニングプロセスを制御するのに役立ち、高品質で繰り返し可能なエッチング速度を実現します。Multiplex ICP HRは、生産スタッフが多様な基板やウエハーを迅速かつ正確にエッチングおよび灰にするのに役立つ信頼性の高いツールを提供し、あらゆる施設に大きな追加を行います。これは、エッチングプロセスを大幅に制御するだけでなく、危険物をきれいにするための安全で効率的な方法を提供します。