中古 ULVAC SME-200U #9118830 を販売中

ULVAC SME-200Uは、ユーザーに優れたスパッタリング性能を提供するために設計された最先端の多機能スパッタリング装置です。ULVAC SME 200 Uは、DCとパルスパワーの両方でスパッタリングを提供し、蒸着速度を制御するための電磁石ガスインジェクションガン（GIG）を備えたプロセスチャンバーシステムです。このユニットは、最大200mmまでの基板に対応でき、メンテナンスを最小限に抑えることができます。使いやすいデザインには、デジタル表示、自動化されたデータ入力、使いやすいタッチスクリーンメニューが含まれています。SME-200Uは、自動過電流保護や緊急停止スイッチなどのさまざまな安全機能も備えており、プロセス緊急時には安心してご利用いただけます。SME 200 Uには、スパッタリングプロセスを最適化するさまざまな有用な機能が装備されています。このような機能の例には、自動蒸着速度と厚さ制御、パラメータセットポイント監視、クローズドループ温度制御などがあります。統合された4温度制御マシンは、安定したスパッタリング環境を確保し、さまざまなスパッタリングプロセスに最適なパフォーマンスを保証します。ULVAC SME-200Uは、制御機能に加えて、多層スパッタリング、均質かつ異質なスパッタリングを堆積することができ、各サンプルを監視および最適化して、高品質で一貫した結果を保証します。多目的ツールは、さまざまな金属酸化膜の反応スパッタリングにも使用でき、ユーザー固有の要件に基づいてカスタマイズすることができます。全体として、ULVAC SME 200 Uは、さまざまなアプリケーションに信頼性の高い高性能スパッタリングアセットをユーザーに提供します。汎用性の高いプラットフォームは、質の高い研究に最適であり、その能力を拡大するために探している任意の研究室のための大きな投資です。