中古 OERLIKON / UNAXIS Clusterline 200 #293643906 を販売中

OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200スパッタリング装置は、金属、セラミックス、プラスチックなどのさまざまな基板に薄膜を堆積するための先進的で汎用性の高いプロセスです。このツールは、様々な技術を使用して、材料源の広い範囲から金属、半導体および誘電膜の堆積を可能にします。UNAXIS Clusterline 200で採用されているスパッタリング法は、シングルバッチスパッタリング法と呼ばれています。OERLIKON Clusterline 200は、信頼性と再現性の高い処理用に設計されています。自動化された制御とプロセス監視、高精度の位置決め、ロードロックなど、その優れた性能に貢献する多くの機能があります。さらに、それは最高品質のフィルムと信頼性の高いパフォーマンスを保証する革新的なデザイン要素の数が含まれています。これらの要素には、コンピュータ制御ロボットアーム、光学モニタリングシステム、クローズドループのプロセス制御ユニットを収容するための追加のチャンバーが含まれます。Clusterline 200の動作中に、複数のプロセスパラメータが同時に監視されます。これらのパラメータはリアルタイムで調整することができ、高いフィルム品質と歩留まりを確保するために蒸着条件を微調整することができます。さらに、プラズマジェネレータを搭載し、最大4種類のターゲット材料を搭載することができ、1つのバッチで複数の層を堆積させることができます。OERLIKON/UNAXIS Clusterline 200は、半導体製造、マイクロエレクトロニクスデバイス製造、光学コーティングなど、幅広い用途に使用できます。このツールは、小規模および大規模な生産に適しており、お客様の特定のニーズに応じて構成することができるため、非常に柔軟です。さらに、プロセスパラメータを広範囲に制御し、経済的で効率的な生産を実現します。全体として、UNAXIS Clusterline 200は多目的で信頼性の高いスパッタリングツールで、高品質で高スループットの薄膜成膜に最適です。その洗練された設計と自動化された制御資産は、最高のフィルム品質と均一性を保証し、成功した生産プロセスのユーザーを保証します。