中古品 OERLIKON / UNAXIS (スパッタリング装置) を販売中

Oerlikon/Unaxisは、半導体、光学コーティング、自動車などのさまざまな業界で使用されるスパッタリング装置の有名なメーカーです。その製品範囲には、卓越した性能と信頼性を提供するアナログ・システムが含まれています。彼らの注目すべきスパッタリングシステムモデルの1つは、Clusterlineシリーズです。Clusterlineシステムは、独自のクラスタツール設計を使用して、1台のマシンで複数のプロセス手順を組み合わせることができ、スループットと効率が向上します。このシステムは、最大14個のプロセスモジュールを収容することができ、スパッタリング、蒸発、さらには反応スパッタリングなどの様々な蒸着技術を可能にします。Clusterline 200は、Clusterlineシリーズ内の特定のモデルです。基板予熱、現場洗浄、冷却機能などの高度な機能を備え、最適なフィルム品質と低粒子汚染を保証します。また、優れたフィルム均一性を提供し、高精度と一貫性を必要とするアプリケーションに適しています。これらのスパッタリングユニットは、いくつかの利点を提供します。それらは非常に適用範囲が広く、異なった適用の特定の条件を満たすカスタマイズ可能であるように設計されています。高度なプロセス制御技術を活用し、正確な膜厚と組成を確保しています。さらに、機械には高度なオートメーション機能が装備されており、生産性を向上させ、オペレータの介入を減らします。全体として、ClusterlineやClusterline 200を含むOerlikon/Unaxisスパッタリングツールは、業界をリードするパフォーマンス、効率、汎用性を提供し、半導体、光学、自動車産業の幅広い用途に最適です。