中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR #9227411 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZARは、半導体製造業向けに設計された急速サーマルプロセッサです。高度な高温急速熱アニーラー（RTA）で、ウェーハの精密かつ迅速な熱制御を提供します。この装置は、超高速加熱のためのフラッシュランプ照明、電磁石英発振器板、および最大熱制御のための2つのリニアフィードバックアクチュエータを利用した高度な光学システムを備えています。TEL Alpha-8S-ZARは、複数の超高速パルスフラッシュランプを使用して、急速で均一な温度ランプレートを生成し、アニール時に正確なウェーハ温度制御を提供します。また、ウエハ温度測定を計測・保存する「FluxEye」機能により、独自のデータキャプチャ・制御機能を搭載し、より優れた処理制御を実現しています。また、東京エレクトロンAlpha-8S-ZARは、超低圧環境で最大1,400°Cの高処理温度範囲を提供します。これにより、プロセスとフィルムの均一性の向上、優れた熱制御、および長期プロセスにわたって高い再現性が得られます。Alpha-8S-ZARは、水素レベルがチャンバー内の危険なレベルに達した場合に緊急避難手順を開始する水素安全オプションを含む、高度な安全機能の広い範囲を備えています。また、不活性ガスフロー校正ツール、独立したヒーター電流および電圧測定を備えたプロセス制御、およびプロセスのオーバーランやウェーハの熱損傷を防止する自動温度補償アルゴリズムなど、完全に自動化されたOFF-LINE機能を備えています。また、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZARは、リモコン機能を内蔵した高度なFM/AM発振器を搭載しています。このリモートコントロール機能により、ユーザーは資産のパラメータを遠隔地から監視することができ、プロセス制御が常に維持されるようになります。TEL Alpha-8S-ZARは、半導体製造環境のニーズを満たすように設計されており、長期アニーリングプロセスにおいて優れたプロセス制御と再現性をユーザーに提供します。高度な安全機能、幅広い機能、リモートコントロール機能により、要求の厳しい半導体製造業界に最適です。