中古 NPS RHP440 #9160845 を販売中

ID: 9160845
ヴィンテージ: 2010
RTP Systems Currently installed in clean room 2010 vintage.
NPS RHP440の急速な熱プロセッサは高いスループット、優秀な温度の傾斜および精密な温度調整を達成するように設計されている最先端の温度調整装置です。シングルチャンバー装置と2チャンバーシステムの2つのモデルが用意されており、どちらも冷却、加熱、およびホールドを提供しています。シングルチャンバーユニットは、比類のないサーマルランプレートと± 0。1°Cの印象的な温度保持精度を提供する急速アニーリングツールです。また、最大1200°Cの高温露出レベルで、ウェーハ全体で± 0。5°Cの温度均一性を提供します。2チャンバーマシンは、高性能ICを作成するための多機能ホットおよびコールドラピッドサーマルプロセッサです。最大温度範囲は400〜900°Cで、ウェーハ全体で± 0。25°Cの温度均一性があります。NPS RHP 440は、酸素を除去するためのN 2パージツールも備えています。ユーザーインターフェイスは直感的でユーザーフレンドリーで、オペレータは操作パラメータを迅速かつ簡単に設定できます。オペレータ入力パラメータは、異なる動作条件で簡単に保存できるため、RHP440を使用して、一貫して再現可能な熱処理結果を達成することができます。それは密封された環境および最高の温度の安定性を保障するためにウェーハの部屋を並べるのに水晶の二重層を使用します。RHP 440高速サーマルプロセッサには、多くの安全機能があります。これらには、チャンバーの過熱保護、自動アラーム、および緊急時の自動シャットオフが含まれます。また、プロセッサには電子ロックが搭載されており、承認された従業員だけが資産にアクセスできるようになっています。要約すると、NPS RHP440急速サーマルプロセッサは、正確な温度制御を確保しながら、ウェーハを迅速に処理するように設計された温度制御装置です。ユーザーフレンドリーなインターフェースを備え、ウェーハ全体にわたって優れた温度均一性を提供します。これは、便利な安全機能を備えており、シングルと2チャンバーモデルの両方で利用できます。
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