中古 NPS RHP440 #293766899 を販売中

NPS RHP440 Rapid Thermal Processor （RTP）は、半導体製造プロセスで使用される高度な熱処理装置です。わずか数秒で-40°C〜600°Cの温度にウェーハを素早く正確に熱循環させることができ、急速な熱アニーリングと拡散プロセスを可能にします。NPS RHP 440は、4インチのシリコンウェーハにおいて、ウェーハ表面の最高温度均一性が± 3°Cである水平温度プロセッサです。高精度のサーモスタット制御を可能にするレーザー干渉計を搭載し、シリコンウェーハ表面の再現可能な温度性能を実現しています。RHP440はまた、エッチングや成膜などの別のプロセス機器と統合されるように設計されています。RHP 440には、人員と機器を保護するための高度な安全機能が含まれています。急速な熱循環の際にシリコンウエハの表面温度を監視する熱電対アレイと、安全でない状態が検出された場合に自動的にユニットをシャットダウンするコンピュータ自動インターロックシステムを備えています。さらに、マシンには複数の温度センサーと圧力センサーがあり、突然の環境変化を検出してオペレータに警告します。NPS RHP440は、半導体生産プロセスにおいて優れた選択肢となるさまざまな機能と利点を誇っています。これは、わずか30ミリ秒の超低熱遅延時間を持ち、急速な熱循環がタイトな生産サイクルを満たすことを可能にします。さらに、このツールは高度な組込みゾーン・ターゲティング・アセットを備えており、半導体製造プロセスの温度均一性と精度を向上させます。さらに、高品質の部品と構造により、非常に信頼性と耐久性があります。NPS RHP 440 RTPは、半導体生産プロセスの最も要求の厳しい要件を満たすように設計された高度な熱処理モデルです。その高速熱循環時間、精密温度制御、および統合された安全機能により、半導体製造に最適です。