中古 NPS RHP440 #293643159 を販売中

ID: 293643159
Rapid Thermal Processor (RTP).
NPS RHP440は急速な熱プロセッサ(RTP)です。加熱・冷却サイクルを利用して積層構造や半導体基板など様々な材料を加工する半導体製造のワンストップ機器です。具体的には、さまざまな温度範囲で様々な材料や基板を加工するために使用されるRTPシステムです。これは、大きなプログラム可能な温度範囲(最大1,400°C (2,552°F))と熱電対とサーミスタの両方の入力オプションを備えています。堅牢で信頼性の高いインライン熱処理ユニットを備えており、半導体業界での大量生産を想定して設計されています。それに高度の、高性能の単一のウエファーの急速な熱処理機械があります。RHP440にはユーザーフレンドリーなコントロールがあります。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたインテリジェントなタッチスクリーンパネルは、レシピの簡単な切り替えとレイアウトを可能にします。さらに、内蔵の安全機能により、生産環境を安全に保ちながら、優れた運用信頼性を提供します。さらに、このツールには、データを保存し、モデルの変更を記録するためのデータロギングアセットが内蔵されています。NPS RHP440には、実際のプロセス温度、ランプレート、およびプロセス時間を監視するための温度制御およびプロセス監視装置もあります。このシステムは、MatlabやLabVIEWなど、多くの業界標準のソフトウェアアプリケーションと互換性があります。光放射分光法(OES)、連動解析、バッチ解析、フローセル解析、プロセス特性評価などのオプションのソフトウェアパッケージを備えています。全体として、RHP440は信頼性が高く、ユーザーフレンドリーで、さまざまな熱処理タスクに最適な柔軟性を提供する高性能ツールです。インダストリアルアプリケーションの高速、正確、再現性の高いパフォーマンスと、強力なデータキャプチャおよびプロセス監視機能を提供します。
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