中古 NPS RHP150 Plus #293603754 を販売中

NPS RHP150 Plusは、大量生産アプリケーション向けに特別に設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。Rapid Thermal Processing製品の最新のNPSラインであり、熱均一性とチャンバ容量の向上、プロセス制御の改善、熱生産性の最適化を実現しています。RHP150 PlusはチャンバーベースのRTPプラットフォームで、ウェーハやWLCSPアニーリング、薄型化、ゲッタリングなど、幅広い熱処理のための4つの独立制御ゾーンを備えています。各ゾーンは、パワフルで平行に取り付けられた水晶ヒートシンクによって駆動され、システムはデジタル温度コントローラで一定の温度で維持されます。発熱体は、より高い熱処理のための短いランプ時間と広範なヘッドルームで、信頼性と安定した動作のために設計されています。NPS RHP150 Plusは、手作業による介入を最小限に抑え、処理時間を最小限に抑えるユーザーフレンドリーな機能を備えており、量産に適しています。統合されたウェーハトランスポートシステムにより、迅速かつ再現性のあるウェーハローディングとアンロードが可能になります。また、高度なAllen-Bradley PLCコントローラにより、すべての熱処理をユーザーフレンドリーに制御できます。さらに、NPSは熱性能を最適化し、インタラクティブなプロセス開発を容易にするための幅広いソフトウェアパッケージを提供しています。RHP150 Plusはまた、conventionalbatchスタイルの生産RTPシステムよりも優れたプロセス制御と均一性を提供するように設計されています。3ポイントゾーン温度プロファイルを使用して、チャンバー全体の均一性を確保し、可変性を大幅に低減し、RTP後の熱処理の必要性を排除します。また、サーマルプロセス中のウェーハ温度をリアルタイムで監視するための高速赤外線画像を採用し、チャンバー環境を乱すことなく迅速かつ正確なプロセス検証を可能にします。NPS RHP150 Plusは、従来のバッチスタイルの熱処理に伴う作業負荷とコストを削減しながら、一貫した再現可能な熱処理プロセスを提供する、大量の生産アプリケーションに最適です。高度な機能と柔軟性を備えたRHP150 Plusは、重要な熱成分の大量生産に最適です。