中古 MATTSON Millios #9359557 を販売中

MATTSON Milliosは、半導体およびLED業界での幅広い業務用に設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。高度な熱技術を使用して、プロセス精度、再現性、均一性を向上させます。この装置は、最大6つのゾーンの温度制御を提供することができ、拡散、酸化、およびサーマルアニーリングなどのさまざまな操作を実行することができます。このシステムには窒素パージが装備されており、ウェーハ上のアニーリングやホウ素の埋め込みなどの酸化およびプリフォーム処理を低減するのに役立ちます。直径300mmまでのウェーハに対応でき、-50°Cから1300°Cまでの温度を提供できます。また、ユニークなグリッドアーム設計により、ウェーハの均一な加熱と冷却に役立ちます。これにより、正確で正確な温度プロファイリングが可能です。Milliosにはリアルタイムプロセスモニタリングマシンも装備されており、ウェーハ処理にさらなる精度と再現性を提供します。さらに、統合された自動ローディングおよびアンロード・モジュールを備えており、ローディング/アンロード・プロセスを合理化し、より安全で迅速なウェーハ転送を提供します。さらに、このツールは、全体的なユーザーエクスペリエンスを向上させるためのさまざまなオプションを提供しています。これには、レシピマネージャの資産が含まれており、ユーザーは処理レシピを保存してリコールし、最小限の労力でさまざまなレシピを管理することができます。また、一般的な問題の設定、操作、トラブルシューティングの詳細な手順を説明するオンラインマニュアルもあります。このモデルは、LED製造、MEMS、その他の高度な半導体アプリケーションなどの市場に適しています。エラーコンディション発生時の動作を防止するインターロック装置により、安全性の向上を実現します。また、処理中に実際のウエハ位置を表示することでプロセス制御を向上させます。全体として、MATTSON Millios RTPは、精密で反復可能で均一な熱処理を提供する高度に洗練された信頼性の高いウェーハリングシステムです。これは、特に高精度と均一性を必要とするプロセスで、ユーザーのための機能と利点の範囲を提供しています。さらに、プロセス効率を高めながら廃棄物を大幅に削減し、さまざまな業界にとって理想的な選択肢となります。