中古 MATTSON Millios #293647674 を販売中
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ID: 293647674
ヴィンテージ: 2008
Flash Rapid Thermal Processor (FRTP)
EFEM
MPSU Module
Service module
Process module
SCCT Rack
VFD Module
Power vaccine
Top side control
Storage rack
Voltage box
Accessories
2008 vintage.
MATTSON Milliosは、半導体ウェーハおよび基板の急速加熱、冷却、および処理に使用される急速なサーマルプロセッサです。それは0。5ミリ秒未満で1200°Cまで温度に達することができます材料およびepi層の広い範囲の温度周期を行う機能を提供します。MOSFETベースの加熱システムを使用しており、急速なランプアップ/ランプダウン速度と正確な温度制御（± 1°C）を可能にします。Milliosは、酸化と窒化、酸化エミュレーション、テノーゼンとアニール、金属層のアライメントとバーンイン、その他の製造プロセスなど、さまざまな用途で使用されています。MATTSON Milliosは、熱エクスカーションの減少とエッジ温度勾配の低減、および誘導応力の低減と酸化プロファイルの改善を提供する数多くの革新的な製品で設計されています。これらの機能は、熱プロセスを洗練し、現代のマイクロエレクトロニクスのさまざまなニーズに適した優れた材料を作成するのに役立ちます。機械には、さらに温度制御のための安全な大気環境を提供する制御された大気チャンバーが装備されています。チャンバーは、必要に応じて真空または不活性ガス雰囲気浴用に加圧/減圧することができます。さらに、機械は優れた冷却能力と最大の冷却応答時間を提供する最先端の冷却システムを備えています。Milliosは、新しい、使いやすく、構成可能なグラフィカル支援サポートに基づいた高度な統合ユーザーインターフェイスを提供しています。これにより、オペレータは最良の結果を得るために必要な熱処理を素早く簡単に設定できます。サーマルプロセッサとして、MATTSON Milliosは非常に信頼性が高く、比類のないメンテナンスとサービスネットワークによって支えられています。完全なスペアパーツキットを搭載しているため、ダウンタイムを最小限に抑えて素早く簡単に交換できます。全体として、Milliosは洗練された革新的な急速なサーマルプロセッサであり、ユーザーに優れたパフォーマンスを提供しながら、完全な柔軟性と精度を提供するために設計された機能が満載されています。これは、正確で信頼性の高い暖房および冷却機能を提供することにより、正確で再現性と歩留まりを提供するように設計されています。高度な統合ユーザーインターフェイスと包括的なメンテナンス機能を備えたこの直接加熱/冷却システムにより、MATTSON Milliosは今後も信頼性の高い安全な操作を提供し続けます。
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