中古 MATTSON HELIOS #9390687 を販売中

MATTSON HELIOSは、MEMSデバイスやその他のICに迅速なアニーリングおよび低温リフロー処理を提供するように設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。HELIOSは、急速熱アニーリング（RTA）技術を活用して、小型で堅牢なパッケージで最高の精度で連続的な熱制御を提供することができます。これは、最大1200°Cの温度と4秒の短いサイクルタイムで熱プロセスを提供するように設計されています。MATTSON HELIOSは非常に高いレベルのプロセス再現性と精度を提供し、温度や時間などのプロセス変数を+/-0。5％以内に与える可能性があります。熱プロファイルの均一性も最大化され、標準的なプロセスで+/-2°Cの温度均一性を達成します。この再現性と均一性は、他のRTPでは達成することが困難であり、HELIOSは多くのプロセスアプリケーションにとって理想的なツールとなります。MATTSON HELIOSは、ユーザーが全体の熱プロセスをカスタマイズして制御することができる統合されたコンピュータ制御システムを備えています。オンボードコンピュータには、使いやすいグラフィカルインターフェイスが含まれており、すべてのプロセスオプションへの迅速なアクセスを提供し、ユーザーと機器を保護する安全機能を提供します。このシステムには、ユーザー定義のレシピ、プロセスモニタとデータ収集、サンプルデータベース、および高度なプロセス制御をサポートするプロセスログも含まれています。HELIOSの堅牢性は、最も困難な動作環境でも高い信頼性を提供します。このシステムは、過酷な環境での動作を想定して設計されており、MIL-STD-810Fごとに衝撃と振動がテストされています。真空のタイトな構造は、優れた断熱性と機械的安定性を提供するため、MATTSON HELIOSは小さなデバイスを測定およびテストするための信頼できるプロセスソリューションです。全体として、HELIOSは研究および小規模な生産ラインに堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。また、熱精度、再現性、均一性を備えているため、MEMやその他のICアプリケーションに最適です。高速プロセスオートメーションと高度なユーザーインターフェースを備えたMATTSON HELIOSは、多くのアプリケーションに理想的な高速サーマルプロセッサです。