中古 MATTSON HELIOS #9389809 を販売中

MATTSON HELIOSは、最先端のウェーハ処理用に設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。これは、生産速度と温度プロファイルの並外れた範囲を提供しています。最先端のエレクトロニクスを介して、単一のウエハの複数の温度ゾーンを効果的に監視および制御することができます。HELIOSは、高度なデバイス統合技術の厳しい要件を満たすように設計された、市場で入手可能な最先端のRTPツールです。その主な特徴は次のとおりです。最大2000C/minuteの高速ランプレート機能。1050Cまでの高温機能；超低いデューティサイクル；そして複数の管の場所、複数のウェーハの同時処理を可能にします。MATTSON HELIOSは、高度な診断および制御システムを使用して、実行するプロセスにおいて高いレベルの信頼性と再現性を確保します。その電子監視システムは、正確なプロセス制御を保証します。デュアルNDIRガスフローシステムは、最高純度のプロセスガス供給を実現し、汚染レベルを効果的に最小限に抑えます。さらに、プロセッサは、最高品質のアニーリング操作のために特別な高純度セラミック熱源を使用しています。HELIOSは、高出力密度と最小限の熱拡散を確保するために堅牢な物理構造と頑丈なヒートシールドで構築されており、精密な熱処理操作に不可欠です。その洗練されたプロセス制御ソフトウェアは、効率的で完全に自動化されたマルチステーションプロセスのためにサーマルサイクリングを最適化します。MATTSON HELIOSは、集積回路およびMEMSシステムの歩留まりを向上させる優れた性能を提供します。このプロセッサは、パッケージング、高度なウェーハ薄型化、MEMS、フォトニクス製造など、幅広い用途で広く使用されています。HELIOSは、高精度の熱処理に最適な強力で信頼性が高く、コスト効率の高いデバイスです。