中古 MATTSON HELIOS #9382889 を販売中

MATTSON HELIOSは、MATTSON Technology、 Inc。が開発・製造した高速サーマルプロセッサです。これは、高度な金属化とウェーハの製造作業の広い範囲のために設計された大規模なシステムです。この汎用性と強力な機械は、集積回路、マイクロエレクトロニクス、ナノデバイスの製造に広く使用されています。プロセッサは、高度な急速熱処理技術を使用して高いスループットを実現します。同時処理段階において、比類のない精度、再現性、安定性を提供します。このシステムには、550mmまたは200mmウェーハに対応できる大型チャンバーが含まれています。また、独自に設計されたデュアルゾーン処理アーキテクチャを備えており、各メタライゼーションおよび基板製造タスクを完了するために必要な時間を短縮します。HELIOSは、強力なデザインスイートとユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた自動プロセスコントローラ（APC）を使用しています。これにより、ユーザーはレシピの作成と保存、パラメータの調整、短時間で簡単に生産ステップを監視できます。プロセッサは急速な熱処理のために酸素、窒素および他の要素のガス混合物を使用するように設計されています。利便性を高めるために、それはまた作り付けの真空装置を特色にし、ガスの消費をかなり減らします。プロセッサはモジュール式であり、ユーザーは特定のアプリケーションに応じて他のモジュールを統合することができます。この汎用性の高い機械は、化学機械研磨（CMP）、スピンオンウェーハ製造、電気めっき、拡散、酸化、窒化およびウェーハ試験などのさまざまなプロセスに適しています。MATTSON HELIOSはまた、ユーザーが特定のニーズに合わせてシステムをカスタマイズすることを可能にする、追加のオプションのホストをサポートしています。全体として、HELIOSは高度なメタライゼーションおよびウェーハ製造タスクのさまざまなニーズを満たすように設計された強力で汎用性の高い急速なサーマルプロセッサです。優れた精度、生産性、柔軟性を提供し、高速かつ費用対効果の高い処理を可能にします。