中古 MATTSON HELIOS #9315046 を販売中

MATTSON HELIOSは半導体の製造で使用される急速な熱プロセッサ（別名RTP）です。MATTSON Technologyによって作成されたHELIOSは、チップ製造に使用される完全に自動化された熱処理装置であり、高度な半導体製品の形成に不可欠な精密な熱処理プロセスを提供することができます。MATTSON HELIOS RTPは、シリコン、III-V化合物、ワイドバンドギャップ材料などの様々な基板の急速な熱処理のために設計されています。これは、すべてのウェーハにわたって急速な温度遷移と均一性の範囲で、非常に高速な熱処理時間を提供します。さらに、このRTPは、ドーピング、注入、酸化、窒化、金属有機化学蒸着（MOCVD）などの用途に最適な高温および高用量プロセスを提供することができます。堅牢な設計とモジュール構成により、特定のプロセス要件に容易に対応できます。HELIOS RTPはコンパクトで効率的なユニットで、非常に小さなスペースで熱処理を提供します。最先端の熱制御およびフィードバックシステムで構成され、一貫して再現可能な温度プロファイル、精度、およびフロントエンドの自動化を保証します。さらに、ウェーハを一体化した自動化されたフロントエンドロボットや、大気温度や圧力測定、制御などのオプションも搭載しています。このツールはまた、クラス最高の熱酸化および窒化モジュール、ならびに純粋な材料の堆積のための超きれいなMOCVDモジュールで設計されています。また、汚染を最小限に抑えるタンタル窒化物バリア層を有するアルミニウム、タンタルおよびコバルトの堆積のためのオプションのシステムを持っています。また、セルフクリーニング機能、高スループット、追加の診断ツール、リモートサポート機能も備えています。全体として、MATTSON HELIOSは信頼性が高く正確なRTPであり、すべての半導体製造ニーズに対応する幅広い高度な機能を提供します。高速熱処理のための費用対効果の高いソリューションであり、高速で一貫した処理のための自動アライメントとプロセス制御を提供します。