中古 MATTSON HELIOS #293821685 を販売中

MATTSON HELIOSは、高性能で堅牢な高速サーマルプロセッサ（RTP）で、重要なサーマルプロセスの効率的で正確な温度制御を実現します。HELIOSには、高出力半絶縁RFジェネレータ、高度な温度制御アルゴリズム、高精度の自動温度測定、最適化されたハードウェアおよびソフトウェア構成が装備されています。それは強力な、エネルギー効率がよいRFの発電機によって急速にそして均等に熱される高容量の水晶およびグラファイトのサセプターを利用します。あらかじめプログラムされた熱入力プロファイルは、急速な加熱、正確な温度制御、および急速なクールダウンを組み合わせて、高速で高精度の熱処理プロセス結果を実現します。一方、リアルタイムのクローズドループ温度制御アルゴリズムは、高精度、再現性、信頼性の高いプロセス温度制御を保証します。さらに、サセプターの温度は、内蔵の熱電対によって正確かつ継続的に測定されます。これは、希望する電力または温度レベルの機能としてサセプター温度を制御するために設定することもできます。汎用性の高いソフトウェアは、可変的なプロセスのカスタマイズを可能にし、データロギング機能のための統合された半自動ツールは、効率的で反復可能な処理を提供します。MATTSON HELIOSは、高温で安全な機器の動作をサポートするために、耐火性材料、空気ろ過システム、および緊急停止システムで構成されたモジュール式で広々としたケーシングで設計されています。また、密閉シール、火災検知、オーディオおよび視覚アラームなどの多くの安全機能も提供します。全体として、HELIOSは高精度、再現性、信頼性の高い温度制御、および堅牢で効率的な熱処理を保証する高度な急速なサーマルプロセッサです。半導体、薄膜、自動車、医療、科学研究など幅広い産業に適しています。