中古 MATTSON Helios #293821467 を販売中

MATTSON HELIOSは、半導体産業のプロセス用途に特化して開発された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。加熱と冷却を迅速かつ正確に行うために設計された低圧・高温システムで、ユーザーはウェーハを均一に処理できます。HELIOSの主な用途には、半導体材料の急速な熱アニーリング、活性化、拡散、酸化、窒化などがあります。このシステムには、高速応答の高温プロセスチャンバー、温度制御、RTPモニタ、およびサポートユーティリティが装備されています。MATTSON HELIOSは6インチ、100mmの角度高度の急速な熱プロセッサです。これは、2つの異なる加熱方法を使用して、ウェーハを急速に加熱して均一に冷却するように設計されています。1つ目はダイレクトラインオブサイトヒーティングソースで、加熱素子からウェーハに直接加熱することができます。2つ目は、間接的な視線方式で、システムに視線窓を組み込んで、必要に応じてエネルギーが通過し、熱や冷却することができます。これにより、ウェーハの表面全体でさらに均一な加熱または冷却が可能になります。HELIOSはまた、正確な温度監視のためのいくつかの機能を組み込んでいます。これらの機能には、リアルタイム温度読み出しディスプレイ、熱飛行時間プローブ、および正確な温度制御のためのユーザー選択可能な熱拡散率パラメータが含まれます。このタイムオブフライトプローブは、加熱素子から放出されるエネルギーがウェーハに到達するまでの時間を測定します。MATTSON HELIOSには、ユーザーに高精度で反復可能な結果を提供するいくつかの機能もあります。これらの機能には、温度サイクラー、チルトタイマー、およびマイクロ汚染モニターが含まれます。温度サイクラーは、ユーザーがプロセスをサイクルするのに便利な方法を提供し、精度と再現性を向上させます。チルトタイマーは、任意のプロセスに必要な保持時間に応じて、RTPの傾斜角度を自動的に調整します。最後に、マイクロコンタミネーションモニターにより、プロセス中の汚染物を正確に検出することができます。さらに、HELIOSは安全対策を講じて、すべての人員がユニットの近くで安全に作業できるように設計されています。これには、チャンバーへの露出が検出されたときに自動的にユニットをシャットダウンするガラスチャンバーが含まれます。また、マイクロ波が過剰に放出された場合、消火システムと自動シャットオフが含まれています。結論として、MATTSON HELIOSは多彩な半導体プロセスに均一な加熱と冷却を提供する汎用性と信頼性の高い急速なサーマルプロセッサです。人間工学に基づいた設計で、人員の安全性を確保し、正確で再現性のある結果を得るための正確な温度制御を提供します。