中古 MATTSON HELIOS #293762406 を販売中

MATTSON HELIOSは、精度と再現性を備えた半導体ウェーハ材料を急速に加熱および冷却するように設計された急速なサーマルプロセッサです。サーマルセンサからのフィードバックと、モニタリング中のウェーハ表面の実際の温度に基づいてウェーハの温度を調整するクローズドループ半自動プロセスツールです。サーマルプロセッサには、ウェーハのより安定した温度環境を保証する急速な熱応答装置が装備されており、長時間の温度制御が可能です。また、複数のガスの流れをサポートする可変フローガス制御システムを備えています。この単位はガスの組合せの圧力/流量を変えることによって温度の範囲を確立することを可能にします。HELIOSは、主に酸化、拡散、イオン注入などの熱処理工程でウェーハをアニールするために使用されます。酸化の間の調節可能な温度設定は処理される装置の電気特性を改善できます。温度を制御することで、従来のアニール法よりも迅速かつ正確に高い温度を達成することができます。異なったプロセスレシピおよび異なったタイプのウエハのためにプログラムすることができるので機械の改善可能性はまた便利です。また、プロセスの監視と制御を可能にする組み込みコントローラを備えています。さらに、その直感的なGUIは、簡単なプログラミングとプロセスの最適化を可能にします。マットソンヘリオスはストレスリリーフにも使用されています。その急速な熱応答ツールは、一貫して信頼性の高い結果でひずみのないウェーハを作成することができます。高温を維持し、ウェーハ材料を室温まで急速に冷却することで、ウェーハ構造の残留応力を均一に緩和することができます。HELIOSは、温度制御、再現性、およびアップグレード性の点で優れた機能を備えています。半導体ウェーハ材料の高精度加熱を調節可能な温度で提供することにより、優れた電気特性と応力緩和を実現するのに最適です。これにより、半導体業界の中程度から大量の生産需要を満たすための最適な選択肢となります。