中古 MATTSON HELIOS #293665736 を販売中

MATTSON Heliosは、さまざまな基板や材料で幅広い熱処理を実行するように設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。Heliosは革新的なデザインを備えており、数秒または数分で最大900°Cの材料を加熱することができます。それは敏感に設計され、ウェーハの表面の全域にわたる厳密で堅いプロセス制御そして均等性と組み立てられます。MATTSON Heliosは、PECVD （Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition）とエキシマレーザーアニーリング技術を活用して、均一性とプロセス制御を損なうことなく、最速の加熱速度を実現しています。これにより、熱予算を最小限に抑えながら、さまざまな基板や材料を正確な温度と時間間隔で処理できます。また、Heliosは、950ºC、デュアル、低ノイズ、高密度プラズマ源5kWバッチまたはインラインRTPモードで動作する能力までの温度でアニールを実行する高温範囲ヒーターを備えています。MATTSON Heliosは、幅広い熱処理プロセスで温度と時間を正確に制御する革新的で高速で信頼性の高いプロセスツールをユーザーに提供します。堅牢な設計、堅牢な制御、均一な加熱により、高品質の製品を生み出すさまざまな材料の正確なアニールを可能にします。その速い暖房機能、高温範囲のヒーターおよび多数の血しょう源は高精度の変数を制御する機能をユーザーに与えます。これにより、Heliosは優れたプロセス制御を備えた信頼性の高い高性能RTPをお探しのお客様に最適な選択肢となります。