中古 MATTSON Hel-A4906 #9384683 を販売中

MATTSON Hel-A4906は、半導体ウェーハ上の正確な加熱、冷却、均一性を提供するRTP （Rapid Thermal Processor）です。この装置は、迅速なプロセス開発と特性評価のための正確な温度プロファイルを提供します。STC （Standard Thermal Chassis）技術をベースとしたコンピュータ制御デバイスで、各プロセス段階のセットアップと監視をリアルタイムで行うことができます。Hel-A4906は不活性な環境を備えており、汚染のないプロセスを可能にします。RTPに2地帯操作があり、20からの温度を調節できます-800°C。2つの温度設定、2つのプロセス圧力設定、および広い温度ランプ範囲により、すべてのアプリケーションタイプに対して精密で再現性の高い熱処理が可能です。RTPには高度な微小重力技術が搭載されており、半導体アプリケーションの表面の熱的な不均一性を低減し、均一性を向上させることを目指しています。MATTSON Hel-A4906は、優れたクラス真空システムを備えており、0。00100〜760 Torrまでの中圧プロセスから低圧プロセスの正確なプロセス制御を可能にします。真空ユニットは、可能な限り最高の避難率のための多段拡散とターボポンプを備えています。オプションの追加真空機を工具に組み込むことで、超高真空加工が可能です。RTPアセットは、光学顕微鏡システム、in-situスキャン電子顕微鏡（SEM）、およびX線分光計と統合することができます。また、ガス供給、マスフローコントローラ、外部アプリケーション用の組み込み通信プロトコルも備えています。このモデルでは、ポンプ、マニホールド、バルブ、ヘリウムリークディテクタなど、いくつかのカスタム定義リソースを統合できます。さらに、独立した過熱保護機能や、安全上の重大な障害が検出された場合に動作する自動シャットダウンシステムなど、さまざまな安全機能を備えています。銅ブロックはサンプル安定化および熱均一性のために利用されます。ユニットはまた、追加のRFソースの統合を可能にします。全体として、Hel-A4906は業界をリードするRTPマシンであり、加熱および冷却プロファイルの正確な制御を提供し、迅速かつ均一なプロセスをサポートします。統合された品質管理ツールと高度な機能により、信頼性の高いプロセス性能と再現性が保証されます。