中古 MATTSON AST 3000 #9390654 を販売中

MATTSON AST 3000は、半導体処理工程において優れたスループットとコスト削減を実現するために設計された画期的な高速サーマルプロセッサ（RTP）です。MATTSON AST3000は、高度な技術と高度なオートメーション機器を備えており、薄膜層のアニーリング、拡散、成膜および処理、プラズマエッチングおよび洗浄、およびシングルウエハおよびデュアルウエハ処理などの高度なアプリケーション工程に最適なツールです。AST 3000の設計はモジュラー型の「Platform 3000」アーキテクチャに基づいており、システムの完全な再構築を必要とせずに追加とアップグレードが可能です。AST3000は高度に構成可能で、デジタルPCRユニットから強化された温度制御まで、幅広い機能を提供します。50°Cから500°Cの広い温度範囲が可能で、様々な熱用途に適しています。この高度な熱設計により、より高速なランプアップとクールダウンレートも可能になります。MATTSON AST 3000は、過温度保護メカニズムやデュアルモードの温度調整ウェハリフトメカニズムなど、さまざまな安全機能を備えています。オプションの避難用ロードロックが用意されており、より速いサーマルサイクルと強化されたプロセス制御を可能にします。さらに、このプラットフォームは、プロセスパラメータと個々のマシンのパフォーマンスを監視するために使用される高度なソフトウェアパッケージをサポートしています。MATTSON AST3000には、高度な自動化機械が装備されており、複数のシステムでタスクを統合し、生産における手作業を削減します。従来の手動プロセスと比較して、スループットを最大5Xまで向上させることができます。全体として、AST 3000は、半導体処理工程におけるスループットとコスト効率を向上させるために使用できる高度なツールです。パフォーマンス、機能、手頃な価格の最適な組み合わせを提供します。