中古 MATTSON AST 3000 #9359569 を販売中

MATTSON AST 3000は、先進的な半導体デバイスの生産における先端技術の需要に対応するためにMATTSONが開発したコンパクトで高性能な急速熱処理プロセッサです。MATTSON AST3000は、効率的な熱処理技術と高い処理精度により、従来のシステムよりも速い速度で熱アニーリングとドライブインサイクルを提供することができます。AST 3000には、パフォーマンスと精度を向上させる多数の有利な機能が含まれています。各リングの独立した熱制御を可能にする複数のリング炉の設計を組み込んでおり、幅広いドライブインとアニーリングサイクルを可能にしています。プログラム可能なプラズマ源は、より複雑なプロセスで使用するためのガス組成物の範囲を増やすことができます。さらに、高精度の温度コントローラを備えており、超短アニール時間により、繊細なデバイスへの熱損傷のリスクを低減します。AST3000はまた、高いスループットと高度な分析機能を提供します。温度センサーユニットと内蔵の石英窓により、インプロセスパラメータの高精度分析が可能になり、より一貫したプロセス制御が可能になります。マルチゾーン技術により、異なる処理ゾーンを選択することができ、処理の柔軟性が向上します。MATTSON AST 3000は、高度で高精度な半導体部品の製造に使用するために設計されています。その高性能熱処理能力は、3Dデバイスの準備、プロセス最適化、高速デバイスの老化評価、高度で繊細な半導体デバイスの急速な熱処理などのアプリケーションに最適です。この自動化された急速なサーマルプロセッサはユーザーフレンドリーでセットアップが簡単で、その革新的な設計は、各アプリケーションと特定の要件に最適化できることを意味します。さらに、MATTSON AST3000は優れたエネルギー効率と堅牢な熱制御を提供し、高精度で高性能な半導体コンポーネントを製造するための効果的で費用対効果の高い手段です。