中古 MATTSON AST 3000 #9281773 を販売中

ID: 9281773
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Rapid thermal processor systems (RTP), 12" 2003 vintage.
MATTSON AST 3000は、幅広い高温アプリケーション向けに設計された先進的なサーマルプロセッサです。これまでにないレベルの温度調節と精度を可能にする次世代の加熱冷却装置を使用しています。MATTSON AST3000は、革新的なホットゾーン設計、高度な温度検出と制御、および高度な材料特性の最適化を組み合わせて、さまざまなアプリケーションに最適な温度環境を作成します。AST 3000ホットゾーンは、正確な仕様に基づいて構築されています。試料温度を正確に測定するための2段ピロメーターを内蔵しています。ピロメーターは、ホットゾーン内の温度を継続的に監視および計算する高度なコントローラにリンクされており、タイトな温度制御が可能です。ホットゾーンには、急速な温度上昇率を目的とした発熱体も含まれており、室温から3000°C (5430°F)までの幅広い温度での動作が可能です。ホットゾーンは急速に温度の極端の間を移動し、わずか5秒で放出することができ、迅速な処理サイクルを可能にします。AST3000は革新的な低圧冷却システムも備えています。このユニットは、試験片の表面に極めて薄い冷たいガス層を提供することにより、表面を急速に冷却します。この機械は200°C/min (392°F/min)の冷却率が可能です。この急速な冷却は、試料を乾燥させることなく実現されます。低圧冷却機能により、サンプルによる歪みを最小限に抑え、高品質の製品を保証します。さらに、MATTSON AST 3000には、高度な材料特性最適化機能が含まれています。熱的、光学的、電気的、機械的特性は、厳しい要件を満たすために最適化することができます。オンボードソフトウェアは、所望の特性最適化を達成するために必要な温度と冷却速度を正確に制御することができます。MATTSON AST3000は安全な操作を保障し、偶発的な損傷の危険を減らすために多数の安全特徴を含んでいます。要するに、AST 3000は優れた温度制御と最適化された材料特性のために設計された画期的なサーマルプロセッサです。高度なホットゾーンと低圧冷却機能により、サンプルの損傷や歪みを最小限に抑えながら、迅速かつ正確な温度制御が可能です。最適化された材料特性機能、安全機能、高度なソフトウェアにより、高温アプリケーションに最適です。
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