中古 MATTSON AST 3000 #9281772 を販売中

MATTSON AST 3000は、MATTSON Technology、 Inc。によって製造された高性能の急速なサーマルプロセッサです。半導体ウェーハの低スループットおよび高スループット熱処理のために設計された汎用性の高い機器です。MATTSON AST3000は、1時間あたり最大200個のウェーハ処理が可能で、-100〜1200°Cのプロセス温度で、ウェーハダイ、基板、その他のオブジェクトに精密な熱制御を提供します。このシステムは、最大15個のウェーハロットを同時に処理することができます。処理チャンバには高速SCAR （Selective Zone Atmosphere Retention）原理を採用しており、ガス交換を最小限に抑えた迅速な熱処理サイクルが可能です。AST 3000は、MATTSON独自のPROCESSWAREソフトウェアを使用して、プロセス制御、監視、およびデータエクスポートを行います。マルチレシピ実行、コンピュータ制御のデータ取得、リアルタイム監視などの機能を備えています。また、精度と再現性を向上させる自動温度制御ユニットを搭載しています。機械の大きいタッチスクリーンの表示は容易な制御のための直観的なユーザーインターフェイスを提供します。AST3000は非常に正確で再現性の高い熱制御を提供し、正確な温度制御、再現性、サイクルタイムを必要とする生産ランに最適です。直感的なユーザーインターフェイスと堅牢な設計を備えた高い熱処理と精度により、信頼性と長期的な熱処理を求めるメーカーに最適です。