中古 MATTSON AST 3000 #293816538 を販売中

MATTSON AST 3000は、半導体基板の高精度熱処理用に設計されたラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。この第3世代RTPには、エンドユーザーが正確な温度上昇、優れた温度均一性、および成長およびアニーリングレシピでの実行時間の延長を達成できる機能が含まれており、低量および大量生産または困難なプロセス開発タスクに最適です。MATTSON AST3000は、400mmウェーハに対応する大型の加熱ゾーンと、温度均一性を高めるガードリングを追加した300mmゾーンを備えています。このシステムは、Kecoテクノロジー、GaAsテクノロジーパッケージ、および温度制御の正確な精度と再現性を提供するデジタル制御、および複雑な熱処理で困難なレシピを実行するための柔軟性に統合されています。AST 3000の完全密閉垂直設計により、一貫した総内反射（TIR）が保証され、オープンプラットフォームシステムに関連する一般的な実行と実行のバリエーションが排除されます。さらに、オプションのガス供給システムにより、プロセスレシピ全体で複数のガス段階を実行できます。このシステムはまた、プロセス前およびプロセス後の温度特性評価と監視のための高精度の検証パッケージを提供します。AST3000は静的および動的機械真空チャッキングによって形成されます。静真空は精密な熱伝達のために基質をしっかりと保持します、動的真空は機械変位の間の基質の位置の正確さを保障します。MATTSON AST 3000には独自のFast Internal Dose Management （FIDM）アルゴリズムが搭載されており、急速な温度ランプの正確な制御と独自のShort Period Stop and Go （SPSG）アルゴリズムにより、優れた安定性と再現性を実現します。MATTSON AST3000は、熱処理効率と精度を大幅に向上させながら、大幅な製品のターンアラウンドタイムを可能にするように設計されています。これにより、オペレータは生産プロセス全体のコストを削減し、プロセス全体の再現性を向上させることができます。