中古 MATTSON AST 3000 #293815931 を販売中

MATTSON AST 3000
ID: 293815931
Rapid Thermal Processing (RTP) system (2) Axiom chambers (3) Load / Unloaders.
MATTSON AST 3000は、半導体およびナノテクノロジー材料の最適な熱処理のために設計された高速サーマルプロセッサ(RTP)です。この高度なRTPは、短時間で高温を必要とする熱プロセスに特に適しています。MATTSON AST3000の低熱質量は、高度なプロセステストと生産ニーズに最適です。AST 3000は、MATTSON特許取得済みの異常サブスレッショルド加熱技術に基づいています。これにより、温度制御アルゴリズムの改良とともに、ASTはサンプルの熱プロファイルを迅速かつ正確に定義することができます。AST3000のサーマルヘッドは、一連の高精度のサーマルセンサーとエレクトロニクスで構成されています。これらは、従来のプリズム/ロッドのサーマルヘッドを交換し、温度に数秒で0。1〜3500ºCの範囲でアクセスすることができます。さらに、MATTSON AST 3000は、クールダウン処理中にほぼゼロの加熱時間を備えており、最も要求の厳しい処理要件においても高い熱安定性を提供します。MATTSON AST3000は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、温度、時間、プロセスをグラフィカル形式で表示する読みやすい配列を提供します。簡単な選択によって、ユーザーはプロセスを監視するために熱パラメータおよび熱冷却コントロールをすばやくセットアップできます。また、温度安定化、バッチプログラミング、フラクショナル制御、ストレス補償、オンザフライ制御、カスタマイズ可能な加熱および冷却プロファイルなどの高度な機能も提供します。従来のプロセスでは、ゾーン制御、ローカル最適化、エラー保護などの機能もサポートされています。すべてのデータはUSBメモリキーに保存され、あらゆる種類のPCまたはデータロガーと接続できます。急速な熱制御機能に加えて、AST 3000は安全性の面でも先進的です。その高精度温度制御アルゴリズムと専用の安全システムは、偶発的な過熱や加工に対する優れた保護を提供します。AST3000は、リン拡散、揮発、ソース/ドレインインプラント、ナノファブリケーションのための高度な熱処理など、要求の厳しいプロセス要件に最適です。この優れたサーマルプロセッサは、優れた性能、信頼性、安全性を提供し、困難で厳しい処理ニーズに最適です。
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