中古 MATTSON AST 2800 #293820853 を販売中

MATTSON AST 2800 Rapid Thermal Processor （RTP）は、ハイスループットウェーハ処理用に設計された半導体デバイス処理装置です。このシステムは、正確な温度制御でさまざまな熱処理を提供し、0。5〜15°C/sの温度ランプレートを実行できます。単位の熱処理の部屋は12の温度地帯まで、調節可能なガスの流れおよび温度較差と形成することができ熱処理の精密な実行を可能にします。このユニットは、さまざまなアプリケーションに迅速なサイクルで正確な熱処理を提供するように設計されています。機械の急速な加熱および冷却プロセスにより、ウェーハの上部から下部にかけての超精密な温度ランプの製造に最適です。また、全熱処理時間を短縮するとともに、精密かつ一貫した熱処理条件を提供し、プロセスの最適化と大幅なコスト削減を可能にします。さらに、MATTSON 2800は過剰な酸化物の蓄積、プロセスガスの漏出、および不十分な熱プロファイルの場合の自動保護シャットダウンなどの安全機能を備えた安全な操作のために設計されています。このツールには、継続的な品質管理を確保するための多数の制御システムも装備されています。AST2800は、メモリチップ製造、超浅いジャンクション形成、薄膜成膜、エッチング処理など、さまざまな半導体アプリケーションに適した汎用性の高い加工資産です。RTPモデルの柔軟性により、アプリケーションのニーズに応じて機器構成をカスタマイズできます。また、AST 2800はMATTSON VISATM Automation Softwareと互換性があり、ウェハハンドリング、データ取得、プロセスログの自動化が可能です。これにより、RTP操作の柔軟性をユーザーに提供し、レシピの作成と保存、システムパラメータのリアルタイム監視および制御が可能になります。ユーザーは将来の使用のためにレシピをインポートしてエクスポートすることもでき、ソフトウェアは個々のラボ条件に合わせて調整することができます。要約すると、2800 Rapid Thermal Processorは、複数の半導体アプリケーションに適した汎用性の高い高性能ユニットです。高度な安全機能、正確な温度制御、自動化されたソフトウェアを備えており、ウェーハの迅速な熱処理のための信頼性が高く、効果的で費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。