中古 MATTSON AST 2800 #293811095 を販売中

MATTSON AST 2800はウェーハの効率的な熱処理のために設計された最先端の急速な熱プロセッサです。ウェーハを迅速に処理し、生産に費やす時間を短縮するために、避難室の温度を正確かつ正確に制御することができます。この精度と速度の組み合わせは、高度なin-situセルフセンシング技術により可能であり、温度と時刻をリアルタイムで正確に測定することができます。MATTSON 2800は、コストとスペース効率の面でも有利であり、他の同等のツールに比べて床面積を削減し、最高レベルの品質を維持しながら運用コストを削減します。AST2800には、最大128ウェーハの積み重ね加工、高温（最大700°C）、高速サーマルランプ（最大150°C/秒）、水素からシランまでのガス、低システム圧力（<1 mb）、およびさまざまなプロセスレシピなどの包括的な機能が付属しています。温度均一性ステップも非常に精度が高く、3分以上の浸漬時間で≥+/-3°Cの精度を実現しています。安全面では、MATTSON AST2800はHEPA/ULPAのろ過を利用して粒子のない環境を確保し、クラス1のクリーンルーム要件を満たすように設計されています。2800はまた、温度安定性を維持しながら処理された材料を含むセルフロック引き出し、緊急時の電力貯蔵、過熱モニター、異常が検出された場合に電源をオフにするインターロックシステムを備えています。全体として、AST 2800は最新の生産に理想的なツールであり、効率的で正確で安全な熱処理を提供します。高度でカスタマイズ可能な機能により、プロセスの品質とコスト効率を維持しながら、幅広い顧客ニーズに対応できます。