中古 MATTSON 3000+ #9210952 を販売中

MATTSON 3000+は高性能の急速な熱プロセッサ装置（RTP）です。急速な熱技術を活用した高度で特殊な半導体製造プロセスの応用を目的として設計されています。このシステムは、最大1000 W/cm²の高濃度熱エネルギーを幅広い基板に供給するパラレルサーマルアレイをベースとしています。また、3000+は高精度の温度制御ユニットを備えており、ウェーハ全体にわたって温度を維持することができ、熱処理全体にわたって±0.5℃精度を備えています。この精度により、高品質な製品の生産を可能にし、高度な半導体デバイスの優れたプロセス制御を提供します。パラレル熱配列は、特別なパターニングマスクを介して焦点を合わせているため、出力は所望のプロセス要件に正確にマッチします。MATTSON 3000+は、統合プロセス監視や現場診断などの高度な機能も提供しています。これにより、プロセス条件をリアルタイムで監視し、プロセスが最適かつ指定されたパラメータ内で実行されるようにします。このマシンには、ツールの操作の完全なプログラマビリティと制御を可能にする包括的なソフトウェアパッケージも含まれています。3000+は、焼きなまし、焼結から抵抗性および非抵抗性硬化まで、さまざまな処理タスクを実行するための効率的で信頼性の高い費用対効果の高い方法を提供します。処理時間を短縮し、優れた物理寸法と信頼性を持つデバイスの生産を可能にします。この資産は、半導体デバイスおよび部品の効率的で信頼性の高い生産に最適です。