中古 MATTSON 2900 #9157957 を販売中

MATTSON 2900は、さまざまな半導体アプリケーション向けに高品質のアニーリング、拡散、およびドライブイン処理を提供するように設計された高度な高性能急速サーマルプロセッサです。このプロセッサは急速熱処理（RPT）技術を使用しており、複数の加熱サセプタプレートを使用して基板を急速に加熱して冷却し、温度プロファイルを厳密に制御します。この装置はマルチゾーンで構成可能な温度検出器で設計されており、基板全体に均一な加熱と冷却を提供し、熱処理を正確に制御できます。2900は、高精度の温度管理に加えて、アニールおよび拡散プロセス中の温度を監視および調整するための工程制御を内蔵しています。これにより、プロセッサは温度を継続的に監視および調整することができ、プロセス全体で一貫した設定ポイントを得ることができます。このシステムは、自動チューニングや統合診断などの機能も備えており、信頼性の高い処理を維持するのに役立ちます。これにより、プロセッサは信頼性と再現性の高い結果を提供することができます。MATTSON 2900は、コンピュータ制御の操作ユニットを備えており、出力電力、加熱速度、冷却速度、最大基板温度などの操作パラメータを調整できます。また、温度均一性モニタリング機能を備えているため、ユーザーは基板全体で最大の均一性を調整できます。プロセッサはまた、データ収集と分析のためのデジタル入出力インターフェイスと統合されており、ユーザーはデータを記録し、処理結果を監視することができます。2900は高精度のアニーリング、拡散およびドライブイン処理のための完全な選択です。高度なRPT技術、プロセス制御、および優れた均一性モニタリング機能により、このツールは無敵の結果を提供します。プロセッサは産業用グレードPC/104フォームファクタで製造され、すべてのユーザーの要件に合わせて幅広いカスタマイズオプションを提供します。