中古 AXCELIS / FUSION Integra RS #293615015 を販売中

AXCELIS/FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor FUSIONは、さまざまなアプリケーションや市場に精密で精密な熱処理を提供する高度な半導体プロセスチャンバーです。FUSION Integra RSは高度な設計により、処理パラメータを最大限に制御することができ、優れた処理品質と再現性を実現します。AXCELIS Integra RSラピッドサーマルプロセッサは、効率的な熱管理とアライメント関連の損傷を低減する正確な温度均一性を提供する2つの異なるシステム、スタンダードとプラスを提供します。標準システムとプラスシステムにより、ユーザーはそれぞれ1450°Cと1550°Cのピーク基板温度に達することができます。後者はまた、最大ランプレート12,000°C/minの高速熱処理を提供し、高速および高出力アプリケーションに適しています。標準品種は最大10,000°C/minに達することができます。Integra RSの急速な熱プロセッサは精密で、反復可能な結果を保障する複数の主要な設計特徴を含んでいます。その真空チャンバーは熱的に安定したエンクロージャ内に収容され、温度の均一性、熱効率、および温度制御を提供します。その非常に構成可能な設計はまたユーザーが厳密な条件に部屋の特徴をカスタマイズすることを可能にします。AXCELIS/FUSION Integra RSは、ウェーハの正確なロードとアンロードのための自動ウェーハ移動のための超精密なリニアドライブ装置を使用しています。その最先端の反応チャンバーは、ユーザーに高度なガス制御を提供しています、精密な流量とソースのガスの圧力制御を含みます、そして、マススループットを管理するための特許取得済みの制御システム。FUSION Integra RS Rapid Thermal Processorは、酸化剤、清浄機、ショックアブソーバ、クォーツサセプターなどのオプションのフィートとアクセサリーを提供し、ユーザーは必要に応じてユニットをアップグレードできます。その高度な安全システムは、ユーザーの安全性と機械の稼働時間を高め、高温処理の潜在的なリスクから保護します。結論として、AXCELIS Integra RS Rapid Thermal Processorは、熱処理において比類のない性能を提供し、ユーザーが歩留まりを最大化し、歩留まり損失を低減することを可能にします。この先進的なツールは、速度、精度、温度の均一性、および制御の優れた組み合わせを提供し、さまざまな半導体加工ニーズに最適です。