中古 AXCELIS / FUSION Integra RS #293593049 を販売中

AXCELIS/FUSION Integra RSは、急速な酸化、アニーリング、ドライブインなどの急速な熱拡散プロセスをサポートするために設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。このプロセスは、汎用性と効率性により、半導体業界でますます普及しています。FUSION Integra RSは、迅速かつ信頼性の高いパラメトリック調整を可能にし、プロセスのパフォーマンスを向上させ、デバイス機能を最適化するために設計されています。AXCELIS Integra RSは、最大限の柔軟性とプロセスの稼働時間を提供する機械設計を備えています。独自のRapid Thermal Rampテクノロジーにより、大規模なウェーハサイズに対して均一な温度制御とパフォーマンスを実現し、さまざまなプロセスオプションに適しています。このシステムには、デュアルセクタのラジアルアームとソフトウェア制御のアクティブゾーンが装備されており、基板温度制御を容易に均一にすることができます。Integra RSは、高度な安全性と環境保護も備えています。その高度な真空およびバックフィルシステムは、プロセス環境を清潔に保ち、安定した大気処理を可能にします。安全インターロック、可聴アラーム、オーバーライドボタンなど、高度な安全設計機能が含まれています。AXCELIS/FUSION Integra RSは、電気プロセスと構造プロセスの両方にプロセスの均一性を提供します。このシステムは、幅広いプロセス温度をサポートし、特定のプロセス要件に合わせてカスタマイズすることができます。さらに、FUSION Integra RSには、リアルタイムの温度測定とフィードバック、およびポストプロセス分析を提供できる高度な光学および温度センサ技術が搭載されています。AXCELIS Integra RSは、スループットの向上、低プロセスコスト、信頼性の高い再現性の高い結果を提供するように設計されています。Integra RSは、高度な安全設計、環境保護、温度制御技術により、MEMSデバイスから大面積の太陽光発電までのアプリケーションに最適なRTPソリューションです。