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PLASMATHERM SLR 770 MF
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PLASMATHERM SLR 770 MF #293763704
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PLASMATHERM

SLR 770 MF

Etcher Wafer stage: 100 mm Plasma source: ECR Frequency: 2.4 GHz Gases: SF6, CF4, CHF3, N2, Ar, H2,
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