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KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9277849

KLA / TENCOR

6400 Surfscan

Wafer surface inspection system.
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KLA / TENCOR 6400 Surfscan #192510

KLA / TENCOR

6400 Surfscan

Patterned / Non-patterned darkfield defect inspection system.
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